Профессор кафедры наноэлектроники РТУ МИРЭА, доктор физико-математических наук Алексей Юрасов рассказал в беседе с RT, что в России сейчас ведётся разработка первой отечественной установки литографии для производства микроэлектроники по современным технологическим процессам.
«Нанотехнологии — это новое направление науки и технологий, активно развивающееся в последние десятилетия.Новости СМИ2 Оно включает в себя создание и использование материалов, устройств и технических систем, функционирование которых определяется упорядоченными фрагментами наноструктуры размером от 1 до 100 нанометров», — добавил эксперт.
Он подчеркнул, что наноиндустрия открывает широкие горизонты и большой спектр возможностей во многих отраслях промышленности и народного хозяйства, позволяя уменьшить размер используемых устройств и при этом существенно повысить эффективность их работы.
«7 нм — маркетинговое название технологии для производства микросхем, которое появилось в 2009 году и указывает на новые поколения технологических процессов. В нашей стране сейчас ведётся разработка первой отечественной установки литографии для производства микроэлектроники по современным технологическим процессам в Институте прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН). Создан демонстрационный образец, который разработчики называют «прототип прототипа». На этой установке получены отдельные изображения на подложках с разрешением до предельных 7 нм», — рассказал Юрасов.